從磚塊大小的“大哥大”,，到小巧輕便多功能的智能手機(jī),；從笨重的臺式電腦，到便攜輕薄的平板電腦,，這些電子產(chǎn)品“瘦身”過程的背后均是——微納米技術(shù)的革新,。廣東省計(jì)量科學(xué)研究院(以下簡稱廣東省計(jì)量院)通過科研立院，使多種微納米精密分析儀器量值得到準(zhǔn)確溯源,，為微納米計(jì)量準(zhǔn)確,、技術(shù)水平接軌國際提供了技術(shù)支撐。
當(dāng)前科技日新月異發(fā)展,，尤其是納米技術(shù)在材料,、化學(xué)、生物,、能源和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,，且具有重要地位和廣闊市場前景。納米技術(shù)研究主要是研究,、發(fā)現(xiàn)和加工結(jié)構(gòu)尺寸小于100nm的材料,、器件和系統(tǒng)，以獲得所需要的功能和性能,。
隨著納米科技及微加工的發(fā)展,，微納尺度產(chǎn)品的計(jì)量檢測愈加迫切，需求也逐漸增大,。為解決量傳溯源問題,，廣東省計(jì)量院通過承擔(dān)質(zhì)檢總局科研項(xiàng)目“微納米薄膜厚度的量值溯源及膜厚測量儀器校準(zhǔn)技術(shù)研究”和省科技廳科研項(xiàng)目“微納米尺度薄膜臺階標(biāo)樣及膜厚量傳體系研究”,，成功研制出微納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板、納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板,、薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)樣品等,。其研究成果可用于掃描電子顯微鏡(SEM)、掃描探針顯微鏡,、X射線熒光測厚儀的校準(zhǔn),。在此基礎(chǔ)上，廣東計(jì)量院率先在國內(nèi)建立掃描探針顯微鏡,、X射線熒光測厚儀校準(zhǔn)兩項(xiàng)大區(qū)級計(jì)量標(biāo)準(zhǔn),，基本解決華南地區(qū)該類微納米尺度儀器的量傳溯源問題。
為促進(jìn)微納米技術(shù)水平與接軌國際,，廣東省計(jì)量院參與了國家科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”,，協(xié)助國家計(jì)量院開展計(jì)量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)測量裝置的研究，在國內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)掃描電鏡的測量結(jié)果直接溯源至國際米定義激光波長基準(zhǔn),，同時(shí)利用雙探針測量模式,，突破探針顯微鏡的測量盲區(qū)，實(shí)現(xiàn)真三維納米結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確測量,。
目前，經(jīng)廣東省計(jì)量院校準(zhǔn)的掃描電子顯微鏡,、X射線熒光測厚儀等高端分析儀器,，為華南地區(qū)的微電子、超精密加工,、新材料以及汽車制造產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域共150多家企業(yè)提供了轉(zhuǎn)型升級的量傳溯源支撐,，助推產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。例如,，國家級高新技術(shù)企業(yè)深圳華星光電在液晶顯示面板研發(fā)過程中存在精密元器件量值不確定等問題,，一直沒有攻關(guān)成功。廣東省計(jì)量院對其微觀分析儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和溯源,，確保儀器測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠,，促進(jìn)了該企業(yè)的高端液晶面板開發(fā)。
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廣東計(jì)量科學(xué)研究院完成多項(xiàng)微納米技術(shù)科研項(xiàng)目
作者：admin 日期：2017-08-11 閱讀：82 次